?微型導(dǎo)軌定制長度精度:指微型導(dǎo)軌定制實(shí)際長度與設(shè)計(jì)長度的符合程度。一般來說,微型導(dǎo)軌的長度精度通常控制在 ±0.01mm 至 ±0.05mm 之間。例如,對于一些高精度的光學(xué)設(shè)備或半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的微型導(dǎo)軌,要求長度精度達(dá)到 ±0.01mm,以確保設(shè)備的高精度定位和運(yùn)動(dòng)控制。
?

導(dǎo)軌寬度精度:即導(dǎo)軌寬度尺寸的準(zhǔn)確性。其精度一般在 ±0.005mm 至 ±0.02mm 范圍內(nèi)。像在精密儀器的傳動(dòng)系統(tǒng)中,微型導(dǎo)軌的寬度精度若能達(dá)到 ±0.005mm,可有效減少導(dǎo)軌與滑塊之間的間隙,提高運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和準(zhǔn)確性。
直線度精度:直線度是衡量導(dǎo)軌在縱向平面內(nèi)直線程度的指標(biāo)。通常,微型導(dǎo)軌的直線度精度要求在每 200mm 長度內(nèi)不超過 ±0.002mm 至 ±0.005mm。例如在高精度的坐標(biāo)測量機(jī)中,需要微型導(dǎo)軌具有極高的直線度精度,以保證測量探頭能夠準(zhǔn)確地沿著直線軌跡移動(dòng),從而提高測量精度。
平面度精度:平面度反映了導(dǎo)軌表面在橫向平面內(nèi)的平整程度。微型導(dǎo)軌的平面度精度一般要求在每 100mm×100mm 的面積內(nèi),平面度誤差不超過 ±0.001mm 至 ±0.003mm。在一些對表面平整度要求極高的光學(xué)鏡片研磨設(shè)備中,微型導(dǎo)軌的平面度精度達(dá)到 ±0.001mm,可確保鏡片在研磨過程中受到均勻的壓力,提高鏡片的研磨質(zhì)量。
平行度精度:包括導(dǎo)軌兩側(cè)面之間的平行度以及導(dǎo)軌與安裝基面之間的平行度。微型導(dǎo)軌兩側(cè)面的平行度精度通??刂圃?±0.002mm 至 ±0.005mm 之間;導(dǎo)軌與安裝基面的平行度精度一般要求在每 100mm 長度內(nèi),誤差不超過 ±0.003mm 至 ±0.008mm。以自動(dòng)化生產(chǎn)線中的微型導(dǎo)軌為例,兩側(cè)面平行度精度高可使滑塊在導(dǎo)軌上平穩(wěn)運(yùn)行,減少磨損和卡滯現(xiàn)象;與安裝基面的平行度精度高則能保證整個(gè)傳動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
垂直度精度:主要是指導(dǎo)軌側(cè)面與底面之間的垂直度。微型導(dǎo)軌的垂直度精度一般要求在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間。在一些需要進(jìn)行高精度三維運(yùn)動(dòng)控制的設(shè)備中,如激光加工設(shè)備,導(dǎo)軌的垂直度精度直接影響到加工精度和質(zhì)量,若垂直度誤差過大,可能導(dǎo)致激光束在加工過程中出現(xiàn)偏差,影響加工效果。